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주문형 정밀스테이지 제작 분야의 미래를
선도하는 에스피시스템즈

제품소개

주문형 정밀스테이지 제작 분야의 미래를 선도하는
에스피시스템즈의 제품을 소개합니다.

GANTRY STAGE

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SPEC

Dual gantry stage

  • Weight32.5 ton
  • Size가로5940 세로4160 높이2730 (mm)
  • 이미지
Axis 하부 Y1-AXIS Core linear 하부 Y2-AXIS Coreless linear 상부 X-AXIS Coreless linear
Pay Load 30 kg 120 kg 15 kg
Stroke 3200 mm 2800 mm 1420 mm
Accuracy ±5 µm ±5 µm ±5 µm
Straightness ±10 µm ±10 µm ±10 µm
Flatness ±10 µm ±10 µm ±10 µm
Repeatability ±2 µm ±2 µm ±1 µm
Max. Velocity 400 mm/s 400 mm/s 800 mm/s
Max. Acceleration 0.3 G 0.3 G 0.3 G
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SPEC

Dual gantry stage

  • Weight12.5Ton
  • Size가로3400 세로4590 높이2400 (mm)
  • 이미지
Axis 하부 Y-AXIS Coreless linear 상부 X-AXIS Coreless linear
Pay Load X-Axis(+250kg) 250 kg
Stroke 1800 mm 2950 mm
Accuracy ±2 µm ±2 µm
Straightness ±25 µm ±20 µm
Flatness ±30 µm ±20 µm
Repeatability ±1 µm ±1 µm
Max. Velocity 1500 mm/s 1500 mm/s
Max. Acceleration 0.2 G 0.2 G